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微米尺度空間分辨率LIBS測試系統—MEEPLIBSMEEPLIBS可以在微米尺度上做空間分辨的元素分析,實現了與傳統的顯微鏡實現*結合,標準分析口徑大小為15微米和18微米(zui小可做到4微米),可在室溫大氣環境中測試,也可在特定的環境中測試。廣泛應用于半導體材料、面板材料的微米尺度空間分辨率的實時元素分析。 系統特點:光源:266nm紫外激光光源具有配衰減器的激光光束整形功能,激光功率軟件可調可實現探測系統的自動溫控系統中配置攝像機,用戶可實時觀測測試的樣品區域配置電動三維調節臺用來校準激光聚焦位置、提高實驗可重復性精度,可對樣品進行序列測量能分析測量包括質量zui輕的所有元素無須樣品預處理,快速檢測
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