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半導體參數測試儀

簡要描述:基于拉曼光譜半導體參數測試儀,具有非接觸、無損檢測、特異 性高的優點??梢詫Π雽w材料進行微區分析,空間分辨率< 800nm (典型值),也可以對樣品進行掃描從而對整個面進行均勻性分析。 設備具有智能化的軟件,可對數據進行擬合計

  • 產品型號:SPM300
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-10-16
  • 訪  問  量:1105
詳細介紹
品牌其他品牌應用領域電子,綜合

基于拉曼光譜法的半導體參數測試儀,具有非接觸、無損檢測、特異性高的優點??梢詫Π雽w材料進行微區分析,空間分辨率< 800nm (典型值),也可以對樣品進行掃描從而對整個面進行均勻性分析。設備具有智能化的軟件,可對數據進行擬合計算,直接將載流子濃度、晶化率、應力大小或者分布等結果直觀的展現給用戶。系統穩定,重復性好,可用于實驗室檢驗或者產線監測。



① 光路接口盒:

內置常用激光器及激光片組,拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入;

② 光路轉向控制:

光路轉向控制可向下或向左,與原子力、低溫、探針臺等設備連用,可升級振鏡選項

③ 明視場相機:

明視場相機代替目鏡

④ 顯微鏡:

正置科研級金相顯微鏡,標配落射式明暗場照明,其它照明方式可升級

⑤ 電動位移臺:

75mm*50mm 行程高精度電動載物臺,1μm 定位精度

⑥ 光纖共聚焦耦合:

光纖共聚焦耦合為可選項,提高空間分辨率

⑦ CCD- 狹縫共聚焦耦合:

標配CCD- 狹縫耦合方式,可使用光譜儀成像模式,高光通量

⑧ 光譜CCD:

背照式深耗盡型光譜CCD相機, 200-1100nm 工作波段,峰值QE > 90%

⑨ 320mm 光譜儀:

F/4.2高光通量影像校正光譜儀, 1*10-5 雜散光抑制比


SPM300 半導體參數測試儀主要應用


選型表

型號

描述

SPM300-mini

基礎款半導體參數分析儀,只含一路532nm 激光器,常規正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺

SPM300-SMS532

多功能型半導體參數分析儀,含532nm 激光器,常規正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺,

可升級耦合最多4 路激光器

SPM300-OM532

開放式半導體參數測試儀,含532nm 激光器,定制開放式顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺,

可升級耦合最多4 路激光器


系統參數

項目

詳細技術規格

光源

標配532nm,100mW 激光器,其他激光可選,最多耦合4 路激光,可電動切換,功率可調節

光譜儀

320mm 焦距影像校正光譜儀,光譜范圍90-9000cm-1,

光譜分辨率

2cm-1

空間分辨率

<1μm

樣品掃描范圍

標配75mm*50mm,最大300mm*300mm

顯微鏡

正置顯微鏡,明場或者暗場觀察,帶10X,50X,100X 三顆物鏡;開放式顯微鏡可選

載流子濃度分析

測試范圍測試范圍1017 ~ 1020 cm-3,重復性誤差<5%

應力測試

可直觀給出應力屬性(拉力/ 張力),針對特種樣品,可直接計算應力大小,應力均勻性分析

(需額外配置電動位移臺), 應力解析精度0.002cm-1

晶化率測試

可自動分峰,自動擬合,自動計算出晶化率,并且自動計算晶粒大小和應力大小

測試案例舉例



 


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