高性能光學元件 / 光學系統是多種多樣的。PHASICS 提供基于 SID4 波前傳感器、R-Cube 光源及雙路分光模塊、成像模塊等構建的組合測試方案,方便用戶根據待測物的特性(如口徑、焦距等)訂制光學計量系統。
1)R-Cube
R-Cube 是一個雙通路光源模塊,具備激光入口、準直光出瞳、位相傳感其適配口,內置高品質分光鏡及準直器??筛鶕筮x擇光源波長,高品質準直光源通過出瞳后可用于待測元件照明。經出口返回 R-Cube內部的光由 SID-4 位相傳感器測量。出瞳光束可配置物鏡構成點光源 / 球面光束,或擴束器以實現大口徑光斑。
• 兼容 SID4/ HR/ UV/ SWIR/ SWIR-HR /DWIR 等傳感器
• 有效光束口徑:與傳感器匹配
• 可選光源:365~3900nm 多種波長
• 校準鏡光學質量:λ/20 @ 632.8nm
• 位相分辨率:<2nm rms
測試光路典型光學元件計量的光路可以 R-Cube 和 SID4 為核心靈活搭建: