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半導體膜厚測試儀

簡要描述:半導體膜厚測試儀-OPTM
測量目標膜的絕對反射率,實現高精度膜厚和光學常數測試! (分光干渉法)

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-10-16
  • 訪  問  量:2394
詳細介紹
品牌OTSUKA/日本大冢價格區間100萬-200萬
測量模式直流產地類別進口
應用領域化工,電子,綜合

半導體膜厚測試儀-OPTM 

R&D QC ! 植入設備! 都可簡單實現高精度測量!

測量目標膜的絕對反射率,實現高精度膜厚和光學常數測試! (分光干渉法)


半導體膜厚測試儀 長 Features

·膜厚測量中必要的功能集中于頭部

·通過顯微分光高精度測量絕對反射率(多層膜厚、光學常數)

·1點只需不到1秒的高速tact

·實現了顯微下廣測量波長范圍的光學系(紫外~近紅外)

·通過區域傳感器控制的安全構造

·搭載可私人定制測量順序的強大功能

·即便是沒有經驗的人也可輕松解析光學常數

·各種私人定制對應(固定平臺,有嵌入式測試頭式樣)

QQ截圖20220211154554.jpg


測量項目 Measurement item

·絕對反射率測量

·膜厚解析

·光學常數解析(n:折射率、k:消光系數)

QQ截圖20220211154507.jpg


構成

構成圖.jpg


樣Specifications

 

QQ截圖20220211154641.jpg

※ 上述式樣是帶有自動XY平臺。

※ release 時期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3預定2016年9月。

膜厚范圍是SiO2換算。

 


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