XITON Impress系列深紫外激光器是高重頻二管泵浦調Q固體激光器。其優異的TEM00光束模式非常適合用于計量學和微細加工(如半導體或顯示器修復等),其短的波長適合于直接刻寫應用。系統通過RS-232接口*由電腦控制運行,可接受不同的觸發控制模式。
XITON Impress系列深紫外激光器典型參數
型 號 | IMPRESS 213 | IMPRESS 224 |
波 長 | 213 nm | 224 nm |
平均功率 | 150 mW | 300 mW |
脈 寬 | < 7 ns | < 9 ns |
脈沖能量 | >15 µJ | >30 µJ |
重復頻率 | 0.1-30 kHz | 0.1-30 kHz |
M2 因子 | < 1.6 | < 1.6 |
特點
· 短紫外波長
· 插槽安裝激光二管泵浦
· 優異的光束形貌
· 超低運行與維護成本
· “綠色光電”
· 24/7連續工業使用
應用
· 光纖布拉格光柵刻寫
· 波長敏感加工
· 立體光刻
· 顯示器修復
· 微細加工
· 半導體檢測
· 倍頻氬離子激光器替換
· 光致發光測量
優異的FBG刻寫性能
· 超快刻寫速度,僅需數分鐘
· 光纖無需預載氫
· 高重頻刻寫光纖光柵質量更高
· 超低運行與維護成本,體積小
參考文獻