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法國ALPAO的WFS-VIS &WFS-SWIR是兩款基于Shack-Hartmann原理的波前傳感器，主要用于實時測量大氣湍流引起的波前失真。兩款產品分別適用于可見光波段和近紅外波段，其中，WFS-SWIR使用優異的InGaAs傳感器。夏克哈特曼波前傳感器具有高靈敏度和高工作頻率的顯著優點，而且專門針對延遲進行了優化，以滿足用戶在嚴苛條件下的要求。
夏克哈特曼波前傳感器WFS-SWIR核心特點：
l 高靈敏度：量子效率QE>70%@1500nm
l 高工作頻率：高達3kHz
l 優化大氣校正
型號及參數：
Model | SWIR WFS-69 | SWIR WFS-97 | SWIR WFS-277 | SWIR WFS-468 | |
Sensor type | InGaAs | ||||
Acquisition frequency | 3kHz | 2kHz | 1kHz | ||
Sensor maximum quantum efficiency | >90% at 600nm | ||||
Number of microlenses | 8x8 | 10x10 | 16x16 | 23x23 | |
Microlens pitch | 240µm | 264µm | 240µm | 167µm | |
Spectral range | 0.9μm - 1.7μm | ||||
Interface | Camera Link | ||||
Dynamic in tip-tilt / focus (PtV) | 1 0µm | 10µm | 15µm | 10µm | |
Residual WFE error on closed loop * | 20nm RMS | ||||
Absolute precision * | λ/20 RMS | ||||
Repeatability * | 10nm RMS | ||||
Typical noise (RMS) | < 700 electron(low gain) | ||||
Typical noise (RMS) | < 150 electron(high gain) | ||||
Operating temperature | 0°C to 30°C | ||||
Recommended DM | DM69 | DM97 | DM277 | DM468 | |
備注*: 在良好的光量條件下且沒有波前擾動。
